Hvis levetiden af processorer og andre halvledere skal kunne bruges i mange år uden at gå i stykker, stiller det store krav til kvaliteten af hele processen omkring fabrikationen af chips og især også den efterfølgende kontrol af komponenterne.
Chips kontrolleres typisk via kraftigt laserlys. Hurtigere chips kræver flere og mindre transistorer på chippen, og kontrollen af de mindre komponenter forudsætter lys med kortere bølgelængde.
Det kræver imilertid en ny teknologi, da mange standardmaterialer til fremstilling af halvledere degenererer, når de udsættes for sådant lys over længere tid.
I et nye forskningsprojekt under navnet UV-Super, som Innovationsfonden investerer 10 mio. kr. i, går forskere og virksomheder sammen om at udvikle en radikalt anderledes ny, såkaldt supercontinuum-teknologi.
Den nye teknologi vil danne ultraviolet laserlys, der ligesom solen vil dække et bredt område af ultraviolette farver, men være en million gange kraftigere end solen og derved være ideel for inspektion af de mindste detaljer på en chip.
– Med dette samarbejde vil NKT Photonics kunne være med til at udvikle en ny spændende teknologi, som kan åbne vejen for applikationer inden for halvlederindustrien, der er svært tilgængelige med vores nuværende løsninger. Derudover er projektet med til at styrke vores bånd til førende danske R&D miljøer, siger Principal Research Scientist, Peter M. Moselund, fra NKT Photonics.
– Den ultraviolette laser udviklet i UV-Super vil gøre det muligt for Dansk Fundamental Metrologi A/S at tilbyde højkvalitets kontrol og udmåling af endnu mindre strukturer end hidtil og derved endnu bedre kunne understøtte den voksende del af dansk industri, der gør brug af nanostrukturer inden for blandt andet halvlederfabrikation, selv-rensende overflader, anti-refleks overflader og tyndfilm med strukturerede farver, siger teamleder Jan Hald fra DFM.
De involverede parter forventer at kunne udvikle laseren i løbet af de næste tre års tætte samarbejde.
– Det er, når viden og forskning kombineres med praksis og kunnen, at vi udnytter samarbejdet mellem universiteter og industri optimalt, siger professor Ole Bang fra DTU Fotonik, som er projektleder i UV-Super.
Kontakt:
Ole Bang, professor, DTU Fotonik
Tlf: 27 21 38 05, Mail: oban@fotonik.dtu.dk